Измерительная головка для непрерывного контроля NF3 и PFCs (перфторсоединений), например, C4F6, C5F8 в окружающем воздухе. Образец газа, закачанный внутренним насосом, подвергается химическому разложению в печи при высокой температуре. Затем продукты разложения обнаруживаются электрохимическим сенсором. Измерительная головка выводит на дисплей измеренную концентрацию контролируемого газа и выдает токовый сигнал 4 - 20 мА и цифровой HART сигнал на любой блок управления.